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失效分析
剖面/晶背研磨
描述： 利用砂紙或鉆石砂紙，搭配研磨頭作局部研磨(Polishing)，加上后續的拋光，可處理出清晰的樣品表面。剖面、斷面研磨與晶背研磨(Backside Polishing)，都是為了可以銜接后續的分析檢測。
研磨(Polishing)基本流程
切割：利用切割機裁將樣品裁切成適當尺寸；
冷埋：利用混合膠填滿樣品隙縫，增強樣品之結構強度，避免受研磨應力而造樣品毀損；
研磨：樣品以不同粗細之砂紙 (或鉆石砂紙)，進行研磨；
拋光：于絨布轉盤上加入適當的拋光液，進行拋光以消除研磨所殘留的細微刮痕。
應用范圍：
芯片產品，如覆晶封裝( Flip Chip)、鋁/銅制程結構、C-MOS Image Sensor；
PCB/PCBA等各種板材或成品；LED成品。
檢測圖片：
晶背研磨(Backside Polishing)：
一般芯片晶背研磨
COB封裝形式晶背研磨
晶背研磨后， OBIRCH分析影像
剖面研磨 (Cross-section)：
Package樣品剖面研磨
MOSFET剖面研磨
銅制程剖面研磨
